Onderhoud en probleemoplossing van Cryopumps
Onderhoud en probleemoplossing van Cryopumps
Onderhoud en probleemoplossing van Cryopumps
Alhoewel Cryopumps ontwerp is om relatief selfversorgend te wees, is behoorlike onderhoud steeds die sleutel om hul langtermyn-stabiele werking te verseker. Dit is nodig om gereeld die verseëling van die pompliggaam, elektriese verbindings en die hoeveelheid koelmiddel te kontroleer. Algemene probleme sluit in 'n afname in vakuum as gevolg van verhoogde pomptemperatuur, en dit is nodig om te kyk of die verkoelingstelsel behoorlik werk. Boonop, as daar gevind word dat die pompsnelheid aansienlik vertraag word, kan dit te wyte wees aan versadiging of besmetting van die interne adsorbent, en die regenerasie of vervanging van die adsorbent is nodig. Dit is ook 'n belangrike deel van die daaglikse onderhoud om die gebied rondom die Cryopump skoon te hou om te voorkom dat stof en onsuiwerhede die pomp binnedring.
