Абслугоўванне і ліквідацыя непаладак Cryopumps
Абслугоўванне і ліквідацыя непаладак Cryopumps
Абслугоўванне і ліквідацыя непаладак Cryopumps
Хоць Cryopumps прызначаны для адносна самадастатковай, правільнае абслугоўванне па-ранейшаму з'яўляецца ключом да забеспячэння іх доўгатэрміновай стабільнай працы. Неабходна рэгулярна правяраць ушчыльненне корпуса помпы, электрычныя злучэнні і колькасць холадагенту. Агульныя праблемы ўключаюць зніжэнне вакууму з -за павышэння тэмпературы помпы, і неабходна праверыць, ці працуе сістэма халадзільніка належным чынам. Акрамя таго, калі хуткасць прапампоўкі значна запавольваецца, гэта можа быць звязана з насычэннем або забруджваннем унутранага адсарбента, і рэгенерацыя альбо замена адсарбента патрабуецца. Утрыманне плошчы вакол Cryopump у чысціні, каб прадухіліць трапленне пылу і прымешак у помпа таксама з'яўляецца важнай часткай штодзённага абслугоўвання.