Manteniment i resolució de problemes de Cryopumps
Manteniment i resolució de problemes de Cryopumps
Manteniment i resolució de problemes de Cryopumps
Tot i que els cryopumps estan dissenyats per ser relativament autosuficients, el manteniment adequat no deixa de ser la clau per assegurar el seu funcionament estable a llarg termini. Cal comprovar regularment el segellat del cos de la bomba, les connexions elèctriques i la quantitat de refrigerant. Els problemes habituals inclouen una disminució del buit a causa de l’augment de la temperatura de la bomba i cal comprovar si el sistema de refrigeració funciona correctament. A més, si es troba que la velocitat de bombament s’alenteix significativament, pot ser degut a la saturació o a la contaminació de l’adsorbent intern i es requereix una regeneració o substitució de l’adsorbent. Mantenir la zona al voltant del Cryopump net per evitar que la pols i les impureses entrin a la bomba també és una part important del manteniment diari.