Wartung und Fehlerbehebung von Kryopumps
Wartung und Fehlerbehebung von Kryopumps
Wartung und Fehlerbehebung von Kryopumps
Obwohl Kryopumps relativ autark ausgelegt sind, ist die ordnungsgemäße Wartung immer noch der Schlüssel, um ihren langfristigen stabilen Betrieb zu gewährleisten. Es ist notwendig, die Versiegelung des Pumpenkörpers, die elektrischen Anschlüsse und die Kältemittelmenge regelmäßig zu überprüfen. Zu den häufigen Problemen zählen eine Abnahme des Vakuums aufgrund einer erhöhten Pumpentemperatur, und es ist erforderlich, zu überprüfen, ob das Kühlsystem ordnungsgemäß funktioniert. Wenn festgestellt wird, dass die Pumpgeschwindigkeit erheblich verlangsamt ist, kann dies auf die Sättigung oder Kontamination des internen Adsorbens zurückzuführen sein, und es ist eine Regeneration oder den Austausch des Adsorbens erforderlich. Wenn Sie den Bereich rund um den Kryopump sauber halten, um zu verhindern, dass Staub und Verunreinigungen in die Pumpe gelangen, ist dies auch ein wichtiger Bestandteil der täglichen Wartung.