Cryopumpsin ylläpito ja vianetsintä
Cryopumpsin ylläpito ja vianetsintä
Cryopumpsin ylläpito ja vianetsintä
Vaikka Cryopumps on suunniteltu suhteellisen omavaraisiksi, asianmukainen ylläpito on edelleen avain niiden pitkäaikaisen vakaan toiminnan varmistamiseksi. On tarpeen tarkistaa säännöllisesti pumpun rungon tiivistyminen, sähköliitännät ja kylmäaineen määrä. Yleisiä ongelmia ovat tyhjiön lasku pumpun lämpötilan noususta johtuen, ja on tarpeen tarkistaa, toimiiko jäähdytysjärjestelmä oikein. Lisäksi, jos pumppausnopeuden havaitaan hidastuvan merkittävästi, se voi johtua sisäisen adsorbentin kylläisyydestä tai saastumisesta ja adsorbentin uudistamisesta tai korvaamisesta. Cryopumpin ympärillä olevan alueen pitäminen puhtaana estääkseen pölyn ja epäpuhtauksien pääsyn pumppuun on myös tärkeä osa päivittäistä huoltoa.
