Manutenzione e risoluzione dei problemi di Cryopumps
Manutenzione e risoluzione dei problemi di Cryopumps
Manutenzione e risoluzione dei problemi di Cryopumps
Sebbene i criopumps siano progettati per essere relativamente autosufficienti, una manutenzione adeguata è ancora la chiave per garantire il loro funzionamento stabile a lungo termine. È necessario controllare regolarmente la tenuta del corpo della pompa, i collegamenti elettrici e la quantità di refrigerante. I problemi comuni includono una diminuzione del vuoto a causa dell'aumento della temperatura della pompa ed è necessario verificare se il sistema di refrigerazione funziona correttamente. Inoltre, se la velocità di pompaggio risulta essere significativamente rallentata, potrebbe essere dovuta alla saturazione o alla contaminazione dell'adsorbente interno ed è richiesta la rigenerazione o la sostituzione dell'adsorbente. Mantenere pulita l'area intorno al Cryopump per evitare che la polvere e le impurità entrino nella pompa è anche una parte importante della manutenzione quotidiana.