Cryopumps- ի սպասարկում եւ խնդիրների լուծում
Cryopumps- ի սպասարկում եւ խնդիրների լուծում
Cryopumps- ի սպասարկում եւ խնդիրների լուծում
Չնայած Cryopumps- ը նախագծված է, որպեսզի լինեն համեմատաբար ինքնաբավ, պատշաճ պահպանումը դեռեւս բանալին է `դրանց երկարաժամկետ կայուն գործողությունը ապահովելու համար: Անհրաժեշտ է պարբերաբար ստուգել պոմպի մարմնի կնքումը, էլեկտրական կապերը եւ սառնագենտի քանակը: Ընդհանուր խնդիրները պարունակում են վակուումի նվազում `պոմպի ջերմաստիճանի բարձրացման պատճառով, եւ անհրաժեշտ է ստուգել, թե արդյոք սառնարանային համակարգը պատշաճ կերպով աշխատում է: Բացի այդ, եթե պոմպային արագությունը հայտնաբերվում է զգալիորեն դանդաղել, դա կարող է պայմանավորված լինել ներքին հարդարման հագեցվածության կամ աղտոտման հետ, եւ պահանջվում է վերափոխում կամ վերափոխում: Cryopump- ի շուրջը շրջապատող տարածքը մաքուր պահելը `պոմպը մուտք գործելը փոշին եւ կեղտը կանխելու համար նաեւ ամենօրյա պահպանման կարեւոր մասն է: