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cryopump는 극저온 표면을 사용하여 가스 분자를 응축시키고 흡착하여 진공 환경을 얻고 유지하는 장치입니다. 그것의 작동 원리는 극저온 표면의 가스 분자가 응축되고 흡착 될 것이라는 특성에 기초합니다. 진공 펌프가 시작되면 내부 극저온 표면의 온도는 -130 ° C에 가까워지며, 이는 대부분의 가스 분자가 열 에너지를 잃고 극저온 표면에 흡착 될 수있을 정도로 높습니다. 펌프 내부의 압력이 감소함에 따라 더 많은 가스 분자가 포획되어 높은 진공 상태를 달성합니다.
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