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Cryopumpの作業原則
CO2トランスファーポンプには、スチールハウジングと長寿命シャフトシールがあります。ポンプには、スチールギアとスラストワッシャーが硬化し、長いサービスを提供しています。メカニカルシールが取り付けられたものは、リークフリーOPEを提供します...
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クライオポンプが継続的に動作している場合、酸素吸収は飽和します。極突起を突然の停電後に再処理する必要がある場合、これは吸着された酸素がゆっくりと放出されるためです。生成された水蒸気は、二次的なコールドスクリーンとバッフルからも脱着しています。一般に、ポンプが通常の輸送にある場合、真空チャンバーに油霧がある場合、空気を汲み上げる機能が失われます。これは、オイルミストが吸着中の活性炭に影響を与えるため、油霧汚染のために活性炭を防ぐ必要があり、クライオポンプを再生する必要があるためです。
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