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クリオポンプのメンテナンスとトラブルシューティング

クリオポンプのメンテナンスとトラブルシューティング

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クリオポンプのメンテナンスとトラブルシューティング

Cryopumpsは比較的自給自足になるように設計されていますが、適切なメンテナンスが依然として長期的な安定した動作を確保するための鍵です。ポンプボディのシーリング、電気接続、および冷媒の量を定期的にチェックする必要があります。一般的な問題には、ポンプ温度の上昇による真空の減少が含まれ、冷蔵システムが適切に機能しているかどうかを確認する必要があります。さらに、ポンプ速度が大幅に減速していることがわかった場合、内部吸着剤の飽和または汚染が原因である可能性があり、吸着剤の再生または置換が必要です。ほこりや不純物がポンプに入るのを防ぐために、クライオポンプの周りの領域を清潔に保つことも、毎日のメンテナンスの重要な部分です。

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