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Cryopumpの作業原則
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Cryopumpの作業原則
極低温は、極低温表面を使用してガス分子を凝縮および吸着させるデバイスで、真空環境を取得および維持します。その作業原理は、極低温面のガス分子が凝縮され、吸着される特性に基づいています。真空ポンプが開始されると、内部極低温表面の温度は-130°C近くまで急速に低下します。これは、ほとんどのガス分子が熱エネルギーを失い、極低温表面に吸着するのに十分な高さです。ポンプ内の圧力が低下すると、より多くのガス分子が捕獲されるため、高い真空状態を達成します。
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